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Labor für Elektronikintegration

Geräteausstattung

Leiterplattenfertigung

  • Leiterplattenfräse
  • Photolithographie
  • Nasschemie (Cu-Ätze, Galvanik)
  • Vakuum-Leiterplattenpresse

Halbleitermontage

  • Reinraumbox
  • Flip-Chip-Bonder, Drahtbonder
  • Vakuumaufdampfanlage
  • Sinterpresse

Analyse

  • Optische- und Rasterelektronenmikroskopie
  • 3D Oberflächenscanner
  • Elektrische Charakterisierung (Doppelpulstest, Rth)
Schattenwurf